无尘室

      无尘室,无尘室规划,无尘房-无尘室规划时应考滤的五个特性：许多了解无尘室的人都附和，第一次具有无尘室的具有者，应运用较好之C/R建筑或工程规划公司或了解建筑C/R规划之建筑承包商若假设他们不了解，则必会糟蹋一大笔不用要花的钱，故选择一制造C/R的公司也是非常重要的。

（l）耐久性；（2）本钱；（3）适应性；（4）可维护性；（5）清洗。

（1）耐久性：

无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久资料。而耐久性，一起也依托无尘室等级来制造。半导体Fabs倾向选择铝，基于它的耐久性，但是，它不是廉价的物质。

（2）清洗：

在制药和生物工学工业，无尘室的墙面需求有简单被清洗和擦洗，直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在biotech商场，清洗真正地是一个最重要的企业。

（3）本钱：

微电子C/R建造费可能花费到$10亿。fab能更快的被制造起来，产品也就能更快到达这商场。许多半导体公司的标语是较廉价和较好的。但是“钱”将成为一个很重要的考虑要素。

（4）适应性：

一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改动而不会招致极大的损失。C/R的具有者和规划者的才能为改动一C/R的关键，所以他们从不将开始的规划定型。

（5）维护性：

对无尘室C/R而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙面的部分。至于修补的问题，对资料的选择是否简单清洁性及修补性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙面三者之中最重要的为天花板，其包含HEPA及ULPA等滤网，其可过滤掉房间的微粒子，且其常会因各个不同的需求，便其分开来，供给各个不同区域的小房间，曾有人说：若制造之预算因某种原因被限制，除了少数的小钱外，其天花板将趋于更贵的境地，其实天花板是一个颇杂乱的系统其有必要严格地过滤粒子，故其规划有必要准确。